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凈化車間的主要功能是控制產(chǎn)品(如硅片等)所在大氣的潔凈度、溫度和濕度。)接觸，讓產(chǎn)品在和諧的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，我們稱之為凈化車間。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)每立方米空氣中粒徑大于判別標準的顆粒數(shù)量來調(diào)節(jié)的。 也就是說，所謂無塵，并不是說完全沒有灰塵，而是控制在很少量的單位內(nèi)。當然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是就光學版圖而言，哪怕是一點點粉塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學版圖產(chǎn)品的生產(chǎn)中，凈化車間需要做到無塵。 粒徑小于0.3微米的粉塵顆粒數(shù)量控制在每立方米3500個以下，達到國際無塵標準的A級。當時芯片級生產(chǎn)加工應用的無塵標準是高于A級的，這樣高的標準主要應用于一些更高級的芯片生產(chǎn)。5μm以下的粉塵量嚴格控制在每立方米1000以內(nèi)，也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級。
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